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ブルカー 3次元白色光干渉型顕微鏡 Contour GT-X 管理番号12438

【仕様】

・年  式   : 2012年
・測定原理   : VSI方式 白色垂直走査干渉方式
          PSI方式 位相シフト干渉方式
          VXI方式 位相シフト+垂直走査干渉方式
・垂直方向分解能: (PSI)0.1nmRa、(VXI)0.5nm、(VSI)1nm Ra
・最大垂直段差 : (PSI)100nm、(VXI)150um、 (VSI)10mm
・段差測定正確性: 0.5%以下(8um基準段差測定時/VSI)
・光量調整   : 自動調整機能あり
・ステージ   : XYZ自動ステージ、12インチ(300×300mm)アルマイト製ステージ
・対物レンズ  : 10倍(視野探し用)、50倍(測定)
・内部レンズ  : 1.0倍、1.5倍、2.0倍
・P  C   : Win7、SP1
・電  源   : AC100~120V、3ピンコネクタ、600W
・エアー源   : 5kgf/cm2 ※接続はワンタッチコネクタ6mm
・寸  法   : 約W900×D850×H1620mm
・重  量   : 約400㎏

【機器ステータス】

・取扱説明書あり。
・制御ソフトは英語表示となっております。
・ステージ吸着用小型真空ポンプが付属しております。
・エアー(圧空)源はお客様にてご準備下さい。

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