ブルカー 3次元白色光干渉型顕微鏡 Contour GT-X 管理番号12438

【仕様】

・年　　式　　　：　2012年

・測定原理　　　：　VSI方式　白色垂直走査干渉方式

　　　　　　　　　　PSI方式　位相シフト干渉方式

　　　　　　　　　　VXI方式　位相シフト＋垂直走査干渉方式

・垂直方向分解能：　(PSI)0.1nmRa、(VXI)0.5nm、(VSI)1nm Ra

・最大垂直段差　：　(PSI)100nm、(VXI)150um、 (VSI)10ｍｍ

・段差測定正確性：　0.5％以下（8um基準段差測定時／VSI）

・光量調整　　　：　自動調整機能あり

・ステージ　　　：　XYZ自動ステージ、12インチ（300×300ｍｍ）アルマイト製ステージ

・対物レンズ　　：　10倍（視野探し用）、50倍（測定）

・内部レンズ　　：　1.0倍、1.5倍、2.0倍

・Ｐ　　Ｃ　　　：　Win7、SP1

・電　　源　　　：　AC100～120V、3ピンコネクタ、600W

・エアー源　　　：　5kgf／cm2　※接続はワンタッチコネクタ６ｍｍ

・寸　　法　　　：　約W900×D850×H1620ｍｍ

・重　　量　　　：　約400㎏

・取扱説明書あり。
・制御ソフトは英語表示となっております。
・ステージ吸着用小型真空ポンプが付属しております。
・エアー（圧空）源はお客様にてご準備下さい。

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

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