〇主な仕様 |
・対応ウェハサイズ : 150mm、200mm |
・ダイシングフレーム: MODTF2-6-1、MODTF2-8-1(ディスコ製) |
・ランプ : 高圧水銀ランプ HHL-2800/C-FS※現状販売になります。 |
〇ユーティリティー |
・電源電源 : 1Φ AC200~230V 50/60Hz 6KVA |
・エアー : 供給圧力 0.44~0.49MPa 10L/min |
・窒素(N2): 供給圧力 0.29MPa 30L/min |
〇装置寸法・重量 |
・装置寸法 : W1,320 × D1,020 × H1,470(mm) |
・重 量 : 約380kg |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし 付属の水銀ランプは現状販売になります。ご使用照度によりますが新品購入を併せてご検討ください。 |