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【中古品】リンテック 200mmセミオートUV照射装置 RAD-2000m/8 管理番号12787

〇主な仕様
・対応ウェハサイズ : 150mm、200mm
・ダイシングフレーム: MODTF2-6-1、MODTF2-8-1(ディスコ製)
・ランプ      : 高圧水銀ランプ HHL-2800/C-FS※現状販売になります。


〇ユーティリティー
・電源電源 : 1Φ AC200~230V 50/60Hz 6KVA
・エアー  : 供給圧力 0.44~0.49MPa 10L/min
・窒素(N2): 供給圧力 0.29MPa 30L/min


〇装置寸法・重量
・装置寸法 : W1,320 × D1,020 × H1,470(mm)
・重 量  : 約380kg

【機器ステータス】
取扱説明書なし
付属の水銀ランプは現状販売になります。ご使用照度によりますが新品購入を併せてご検討ください。

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