【仕様】 |
・測定ヘッド/コントローラ: VR-3200/VR-3000 |
・観察モード : 広視野(12,25,38,50x)、高倍率(40,80,120,160x)※15型モニター上 |
・測定可能高さ : 広視野(10mm±5mm)、高倍率(1mm±0.5mm) |
・測定精度 : ±3μm(高さ)、±5μm(広視野、幅測定)、±2μm(高倍率、幅測定) |
・ステージストローク : X184mmxY88mm(電動)、Φ90mm回転テーブル |
・Z軸ストローク : 90mm(電動) |
・作動距離 : 75mm |
・撮像素子 : 1型400万画素モノクロCMOS |
・投光/受光レンズ : ダブルテレセントリックx2/ダブルテレセントリック |
・照 明 : LEDリング(RGB、観察用)、白色LED(測定用) |
・画像サイズ : 1024x768pix、2048x1536pix |
・電 源 : AC100~240V±10%、50/60Hz、150VA |
・質 量 : 約28kg(ヘッド、100mm高さスペーサ含まず)、約3.8kg(コントローラ) |
・搭載ソフト : VR-H2V観察アプリ、VR-H2A解析アプリ VR-H2J連結モジュール、VR-H2P比較計測モジュール |
VR-H2CA3D-CAD比較計測モジュール |
・100mm高さスペーサ : 装着済み(OP-87708) |
※被検物最大高さ : 170mm (VR-S200電動ステージ搭載) |
※被検物最大高さ : 188mm(電動ステージ取外し時) |
【機器ステータス】 |
・取扱説明書付属 ・VR Calibration Standard(OP-877 |
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