キーエンスワンショット3D形状測定機 VR-3200 管理番号11607

【仕様】

・測定ヘッド/コントローラ　：　VR-3200/VR-3000

・観察モード　　　　　　　：　広視野（12,25,38,50x）、高倍率（40,80,120,160x）※15型モニター上

・測定可能高さ　　　　　　：　広視野（10mm±5mm）、高倍率（1mm±0.5mm）

・測定精度　　　　　　　　：　±3μm（高さ）、±5μm（広視野、幅測定）、±2μm（高倍率、幅測定）

・ステージストローク　　　：　X184mmxY88mm（電動）、Φ90mm回転テーブル

・Z軸ストローク　　　　　　：　90mm（電動）

・作動距離　　　　　　　　：　75mm

・撮像素子　　　　　　　　：　1型400万画素モノクロCMOS

・投光/受光レンズ　　　　　：　ダブルテレセントリックｘ2/ダブルテレセントリック

・照　　明　　　　　　　　　：　LEDリング（RGB、観察用）、白色LED（測定用）

・画像サイズ　　　　　　　　：　1024x768pix、2048x1536pix

・電　　源　　　　　　　　　：　AC100～240V±10%、50/60Hz、150VA

・質　　量　　　　　　　　　：　約28kg（ヘッド、100mm高さスペーサ含まず）、約3.8kg（コントローラ）

・搭載ソフト　　　　　　　　：　VR-H2V観察アプリ、VR-H2A解析アプリ
　　　　　　　　　　　　　　　　VR-H2J連結モジュール、VR-H2P比較計測モジュール

　　　　　　　　　　　　　　　　VR-H2CA3D-CAD比較計測モジュール

・100mm高さスペーサ　　　：　装着済み（OP-87708）　

※被検物最大高さ　　　　　　：　170mm (VR-S200電動ステージ搭載）

※被検物最大高さ　　　　　　：　188mm（電動ステージ取外し時）

・取扱説明書付属
・VR Calibration Standard(OP-87710)付属

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽・恒温恒湿器: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

E-mail：sales@tanaka21.co.jp