・年 式 : 2015年 |
・測定可能高さ : 広視野モード10mm、高倍率モード1mm(±0.5mm) |
・倍 率 : 広視野モード12、25、38、50×切換 |
高倍率モード40、80、120、160×切換 |
・デジタルズーム: 1~4× |
・高さ表示分解能: 0.1μm |
・繰り返し精度 : 高さ測定0.5μm / 幅測定 広視野モード 1μm、高倍率モード0.5μm |
・連結機能 : 全自動測定(XY自動制御+オートフォーカス) |
・ステージ : XYストローク 184×88mm(電動) |
(VR-S200) Zストローク 90mm(電動) |
・作動距離 : 75mm |
・電 源 : AC100~240V 50/60Hz ・P C : Win7 |
・付属品 : 校正ゲージ、スペーサー1個、比較測定ソフト(VR-H1P) |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |
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