【仕様】 |
・コントローラ: IM-6600 |
・測定ヘッド : IM-6120 |
・撮影素子 : 660万画素CMOS(モノクロ) |
・ディスプレイ: 10.4型、LCDカラーモニター |
・視 野 : φ100×L200mm(広視野測定モード)、□25×L125mm(高精度測定モード) |
・最小表示単位: 0.1μm |
・測定精度 : 連結なし ±5μm(広視野測定モード)、±2μm(高精度測定モード) |
連結あり ±(7+0.02L)μm(広視野測定モード)、 |
±(4+0.02L)μm(高精度測定モード) |
・照 明 : テレエキセントリック透過照明、4分割リング照明 |
・ステージ : X:100mm(電動)、Z軸20mm(電動) |
・耐荷重 : 2kg |
・電 源 : AC100V~240V、50/60Hz |
・質 量 : 約8kg(コントローラ)、約28kg(測定ヘッド) |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし |
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