【商品構成】 |
・シュリーレン光学系 |
・高感度白黒カメラ(CIS社 UXGA G32U21CL) |
・撮影レンズ(レンズマウントアダプタ付) |
・ウェハチャック付き手動XYステージ |
・ハロゲン光源装置、ファイバーライトガイド |
・パソコン(WindowsXP)、LCD |
【ソフトウェア機能】 |
・画像取込み、白黒反転、2値化表示 |
・×1(ピクセル等倍表示)※撮影視野約50mm |
・全画面表示※撮影視野約50mm |
・×2※撮影視野約30mm |
・×4※撮影視野約15mm |
・1次微分(3×3、5×5) |
・2次微分(3×3、5×5) |
・画像保存、画像読込 |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり【商品説明】特殊なシュリーレン光学系により、ウェハ薄加工面の凹凸状態を高感度に観察する高感度画像観察装置です。 最大φ50mmの視野でBG工程で生じるクラック、ポリッシュ痕、グラインド痕、エッチング痕などをウェハステージ上に 設置するだけで用意に観察する事ができます。 |
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