【仕様】 |
モ デ ル : FM-2248 |
ウェハーサイズ : 8インチまで |
用 途 : ダイシング用 |
装 置 サイズ : W455×D780×H300mm |
リング 固 定 : マグネット式 |
ウエハ 固 定 : 真空吸着(真空ポンプ) |
装 置 重 量 : 約28kg |
ユーティリティ : 真空(チャック吸着用)のみ |
《付属品》 |
真空ポンプ (イワキ製 APN-215MV-1-50) |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし ※ダイシングフレーム、フィルムなどは付属していません。 ※ウエハのピン当て(位置決めピン)はありません。 |
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