【主な仕様】 |
コントローラー LT-9500 |
・最小表示単位 : 0.01μm |
・表示範囲 : ±9999.99μm |
・表示周期 : 10回/秒 |
・アナログ出力 : ±10V×2出力、出力インピーダンス100Ω |
・電 源 : AC100~240V±10% 50/60Hz |
・質 量 : 約2.4㎏ |
測定部 LT-9030M |
・測定範囲 : ±1.0mm |
・基準距離 : 30mm |
・光 源 : 赤色半導体レーザー |
・光源波長 : 655nm |
・光源クラス : クラス1(JIS) |
・光源スポット径 : 約Φ7μm |
・分解能 : 0.1μm |
・サンプリング周期 : 640μs~187μs(14段階) |
・マイクロスコープ : (視野)2.5mm×2mm、(光源)赤色LED |
・質 量 : 約500g |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |
電子工業分野その他 > レーザー関連機器 > 工業検査機器(電子・金属) > 寸法・形状を測る > その他検査機器 > 半導体製造装置 > 品管 品証 関連