【主な仕様】 |
●本体 ALC-MR |
・走行速度 : 1~500mm/sec |
・走行距離 : 283mm(MAX) |
・塗工厚 : 25mm(チャートの厚み+膜厚で25㎜まで) |
・塗工幅 : 20mm |
・チャートサイズ : 208×300×25mm |
・液受け容量 : 16mL |
・電 源 : DC24V |
・寸 法 : W280×D540×H245mm |
・重 量 : 12.7㎏ |
●ポンプ LABOPORT N86 |
・流 量 : 5.5L/min |
・電 源 : AC100V 50/60Hz |
・寸 法 : W90×D164×H141mm |
・重 量 : 1.9kg |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり バキュームテーブル、吸引ポンプ(LABOPORT N86)付属 |
半導体製造装置 > ウエハ製造(前工程) > 電子部品製造装置 > FPC製造関連