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サンユー電子 真空蒸着装置 SVC-700 管理番号10595

【構成】
 ・真空蒸着装置:SVC-700
 ・スパッタリング装置:SC-701
 ・ピラニ真空計:SV-701
 ・付属台
 ・ロータリーポンプ:2004A(ALCATEL)
 ・冷却水循環装置:CCA-1000(EYELA)

【仕様】
 <真空蒸着部>
   蒸着方式:抵抗加熱方式
   蒸着極数:2組
   排気系:油拡散ポンプ
       ロータリーポンプ(外付け:スパッタ装置と併用)
   ペルジャー:内径 約φ160mm×H215mm(ガラス製:保護カバー付属)
 <スパッタリング装置部>
   ターゲットサイズ:約φ50mm
   試料サイズ:約φ70mm
   スパッタ方式:DCスパッタ/平行平板型

【外寸】
   本 体  :約W600×D400×H470mm
   付属台:約W620×D440×H420mm


【機器ステータス】
  取扱説明書なし

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