【仕様】 |
・コントローラ : IM-6700 |
・測定ヘッド : IM-6225T(可変照明、高さユニットタイプ) |
・撮影素子 : 660万画素モノクロCMOS |
・ディスプレイ : 10.4型、LCDモニター |
・視 野 : φ100×L200mm(広視野測定モード)、 |
φ25×L125mm(高精度測定モード) |
・最小表示単位 : 0.1μm |
・画像測定精度±2σ : 【連結なし】広視野測定モード:±5μm、 |
高精度測定モード:±2μm |
【連結あり】広視野測定モード:±(7+0.02L)μm、 |
高精度測定モード:±(4+0.02L)μm |
・高さ測定可能領域XY: 広視野測定モード:45×95mm、 |
高精度測定モード:7.5×25mm(標準プローブ) |
広視野測定モード:95×95mm、 |
高精度測定モード:60×25mm(広範囲プローブ) |
・高さ測定精度 : ±7.5μm(標準プローブ)、±15μm(広範囲プローブ) |
・インターフェース : LAN RJ-45 (10BASE-T / 100BASE-TX / 1000BASE-T)、 |
USB2.0シリーズA |
・データ記録 : 250GB |
・照 明 : 透過 テレセントリック照度調整式 |
落射 スリットリング(指向性)照明(電動)、 |
4分割マルチアングル照明(電動) |
・ステージ : Xステージ100mm(電動)、Zステージ30mm(電動) |
・ステージ耐荷重 : 2kg |
・電 源 : AC100V~240V 50/60Hz、310VA以下 |
・質 量 : コントローラ約8kg、ヘッド約34㎏ |