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日本マイクロニクス マニュアルプローバ 705A-WG2 管理番号10615

 
○主な仕様
・チャックサイズ:5インチ(φ150mm)
・ステージ移動量(粗動):約X315mm、Y165mm
・ステージ移動量(微動):約X5mm、Y5mm
・Z軸ステージストローク:0/0.3/3.5mm+37.5mm
・θ軸ステージ回転角度:粗動 360° 、微動 5°
・ウェハ保持方式:真空吸着方式
・外寸:約W560×D560×H540mm
・重量:本体 約80㎏
・圧縮空気:0.1Mpa以上(類義機MP-10A仕様を参照)
 ※ウエハ吸着及びステージ吸着固定用途
・真空:-532hpa以下(類義機MP-10A仕様を参照)
 ※ウエハ吸着及びステージ吸着固定用途
・電源:単相AC100V、50/60Hz

【商品構成】
・プローバー本体
・実体顕微鏡:SZ60(オリンパス製)接眼レンズGSWH20×、ズームツマミ1~6.3×
・顕微鏡用リング照明
・顕微鏡取付けアーム

※LEDリング照明、マニュピレータ(針なし)×2個付属しております。
※小型真空ポンプ、コンプレッサー、除振台など未付属です。
※別途費用にて小型真空ポンプ、除振台、シールドボックは付属可能です。ご相談下さい。

【機器ステータス】
取扱説明書なし

日本マイクロニクス マニュアルプローバ 705A-WG2MICRONICS JAPAN Manual Prober 705A-WG2日本マイクロニクス マニュアルプローバ 705A-WG2
MJC マニュアルプローバ 705A-WG2NIHON MICRONICS Manual Prober 705A-WG2オリンパス 実体顕微鏡 SZ60
OLYMPUS 顕微鏡 SZ60

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