オムニフィジックス マニュアルプローバ SE-6003A 管理番号10619
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○主な仕様 ・ステージ移動量 ： X200mm、Y200mm ・サブステージ移動量 ： X13mm、Y13mm ・試料台ローテーション ： 粗動180度、微動10度 ・プローブとキャリアの移動量 ： 0~25mm ・プローブとキャリアUP/DOWNストローク ： コンタクトからセパレード400μm ・チャックサイズ ： ～8インチ（φ200mm） ・ウェハ保持方式 ： 真空吸着方式 ・プローバー外寸法 ： 約W450×D550×H600mm ・重量 ： 約60㎏ ・電源 ： AC100V、50/60Hz
【商品構成】・プローバー本体 ・実体顕微鏡：SZ61（オリンパス製）対物レンズWHSZ20×-H、ズームツマミ0.67～4.5× ・顕微鏡用照明電源：KTX-100R（Kenko製）、リング照明付き ・顕微鏡XYモーション機構 ※コンプレッサー、真空ポンプ、マニュピレータ―等は付属しておりません。 真空ポンプ、マニュピレータ―、シールドボックスなど付属をご希望の場合、別途ご相談下さい。 ※仕様違いで在庫多数ございます。 【機器ステータス】 取扱説明書なし（別途SE-6003の取説は付属可能です）。
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