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オムニフィジックス マニュアルプローバ SE-6003A 管理番号10619

○主な仕様
・ステージ移動量 : X200mm、Y200mm
・サブステージ移動量  : X13mm、Y13mm
・試料台ローテーション  : 粗動180度、微動10度
・プローブとキャリアの移動量 : 0~25mm
・プローブとキャリアUP/DOWNストローク : コンタクトからセパレード400μm
・チャックサイズ : ~8インチ(φ200mm)
・ウェハ保持方式  : 真空吸着方式
・プローバー外寸法 : 約W450×D550×H600mm
・重量 : 約60㎏
・電源 : AC100V、50/60Hz

【商品構成】
・プローバー本体
・実体顕微鏡:SZ61(オリンパス製)対物レンズWHSZ20×-H、ズームツマミ0.67~4.5×
・顕微鏡用照明電源:KTX-100R(Kenko製)、リング照明付き
・顕微鏡XYモーション機構

※コンプレッサー、真空ポンプ、マニュピレータ―等は付属しておりません。
 真空ポンプ、マニュピレータ―、シールドボックスなど付属をご希望の場合、別途ご相談下さい。
※仕様違いで在庫多数ございます。

【機器ステータス】
取扱説明書なし(別途SE-6003の取説は付属可能です)。

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