オムニフィジックスマニュアルプローバ SE-6003A 管理番号10619

○主な仕様

・ステージ移動量　：　X200mm、Y200mm

・サブステージ移動量　：　X13mm、Y13mm

・試料台ローテーション　：　粗動180度、微動10度

・プローブとキャリアの移動量　：　0~25mm

・プローブとキャリアUP/DOWNストローク　：　コンタクトからセパレード400μm

・チャックサイズ　：　～8インチ（φ200mm）

・ウェハ保持方式　：　真空吸着方式

・プローバー外寸法　：　約W450×D550×H600mm

・重量　：　約60㎏

・電源　：　AC100V、50/60Hz

【商品構成】

・プローバー本体

・実体顕微鏡：SZ61（オリンパス製）対物レンズWHSZ20×-H、ズームツマミ0.67～4.5×

・顕微鏡用照明電源：KTX-100R（Kenko製）、リング照明付き

・顕微鏡XYモーション機構

※コンプレッサー、真空ポンプ、マニュピレータ―等は付属しておりません。

　真空ポンプ、マニュピレータ―、シールドボックスなど付属をご希望の場合、別途ご相談下さい。

※仕様違いで在庫多数ございます。

【機器ステータス】

取扱説明書なし（別途SE-6003の取説は付属可能です）。

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

E-mail：sales@tanaka21.co.jp

オムニフィジックス マニュアルプローバ SE-6003A 管理番号10619