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プラズマシステム:高周波13.56MHz 振動磁場システム |
イオンエネルギー:12eV以下 |
真空システム:1 x 10-7 mbar |
供給ガス:酸素25%, アルゴン75% |
供給圧力200kPa |
寸法:約W590mm × D520mm × H590mm |
重量:約60kg |
電源:AC100V (50/60 Hz) |
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