【仕様】 |
・装置の特徴 : 微小部対応・高機能タイプ |
・測定対象元素 : 原子番号22(Ti)~83(Bi) |
・X線源 : Wターゲット |
・管電圧 : 50kV 管電流:1.5mA Be窓 |
・検出器 : 比例計数管+半導体検出器(液化窒素レス検出器) |
・装置校正 : 自動校正+マニュアル校正 |
・コリメータ : 0.05×0.05mm、0.015mmφ、0.1mmφ、0.025×0.4mm |
・安全機能 : 試料扉インターロック、試料の衝突防止機能あり |
・試料観察 : CCDカメラ+ズーム光学系、ハロゲン照明 |
・焦点切り替え機能 : 3段階切り替え9400 10/40/70mm |
・対応アプリケーション : 単層、2層、2成分合金薄膜・成分比同時測定 |
・ソフトウェア : バルクFP法、バルク検量線、薄膜FP法、薄膜検量線、 定性レポート、スペクトルマッチング |
・測定機能 : 自動測定、中心検索、画像処理位置決め機能 |
・テーブル寸法 : W240×D170(mm) |
・移動量 : X220mm、Y150mm、Z150mm |
・装置制御 : X-ray Station、PC(Win7) |
・寸法・重量 : 測定ヘッドW640×D810×H900(mm)・124kg |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり、校正板あり。 写真の作業台は未付属となります。 |