〇年式 |
2024年 |
〇主な仕様 |
測定波長 : 230~800nm |
膜厚測定範囲: 1nm~35nm※SiO2換算 |
レンズ : 反射対物レンズ20×(OP2LE-20) |
測定径 : φ10μm |
フォーカス機能 : オートフォーカス |
多層膜解析 : 最大50層 |
電源 : AC100V 50/60Hz 370VA以下 |
XYZ移動量 : X200X × Y200 ×Z17(mm) |
本体寸法 : W555 × D655 × H620(mm) |
本体重量 : 約70kg |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |
工業検査機器(電子・金属) > 膜厚を測る > 半導体製造装置 > ウエハ製造(前工程) > 品管 品証 関連 > 電子部品製造装置 > FPD製造関連