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【仕様】 |
・カソード :φ2 インチ/2 極対向電極 |
・膜厚設定方式 :プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
・ガス導入機構 :ニードルバルブ |
・チャンバーサイズ:内径 約φ120mm×D120mm(SUS 製) |
・試料交換方法 :前面ドア開閉式 |
・排気操作 :自動 |
・寸 法 :約W225×D420×H320mm |
・重 量 :約15kg |
・電 源 :単相 AC100V 50/60Hz |
・付属品:ロータリーポンプ |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり(類似装置品の物) ※ターゲットは付属しておりません |
【顕微鏡】 【電子顕微鏡】 【真空機器】 【真空ポンプ】 【成膜装置】
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