【構成】 |
・システム本体 |
ステージ |
チャック |
ポジショナー |
顕微鏡 |
・卓上除振台 |
・バキュームポンプ |
【仕様】 |
X-Yステージ:±40mm |
Zステージ:8mm可動 |
θローテーション |
チャックトップ:φ100mm |
ポジショナー:MODEL 600MRF 2台 |
顕微鏡:SZ40(オリンパス製) LED照明使用 |
【設置寸法】 |
システム本体:約450×350mm |
卓上除振台:約500×400mm |
【ユーティリティ】・照明用 AC100V ・チャックバキューム用 AC100V |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし |
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