アルバック小型真空蒸着装置 VPC-260F 管理番号12292

・操作：手動式

・真空槽：ガラスペルージャ（内径約φ300mm×高さ約300mm）

・蒸発電極：２極切換え(COM共通)

・蒸発電源：0～10V 150A MAX

・メインポンプ：油拡散ポンプ DPF-200(空冷)、200L/sec

・補助ポンプ：油回転真空ポンプ G-100D 、100L/min

・メインバルブ：クラッパーバルブ VG-65

・補助バルブ：三方向バルブ

・液体窒素トラップ：注入量約0.75L
・冷却水：膜厚センサー用　水量200cc/min、装置左側面下部に給排水接続部あり

・外寸、重量：本体　約W700×D650×H1200mm、約75kg

　　　　　　　記計測器、電源など　約W450×D650×1100mm、約50kg

・電源：本体：1φ100V 50/60Hz

　　　　ピラニ真空計、電離真空計、成膜コントローラー　1φ100V 50/60Hz　各1ライン

＜付属品＞

・ピラニ真空計　(ULVAC：GP-1G、測定子WP-01）

・電離真空計（ULVAC：GI-TL3RY、測定子WIT-G1 Φ18)

・REM付蒸着電源

・成膜コントローラー（ULVAC：CRTM-6000）

・防着板、ベルジャーカバーなど

・蒸着源プレート多数付属

・電離真空計測定子WIT-G1 Φ18　新品2本

・写真の作業台（引出3段付、電源や真空計を搭載している台）

【機器ステータス】

※取扱説明書あり
※真空引き（4×10-3Pa程度）、70Aほどかけて蒸着源プレートの赤熱確認済みです。
※液体窒素を投入しての動作は未実施です。成膜装置は電源投入程度の動作確認のみ実施しております。
※本体側の電源ケーブル接続部分に多少劣化あり
※蒸着材料、冷却水源（チラーなど）は未付属です。お客様にてご用意下さい。