ブルカー 3次元白色光干渉型顕微鏡 Contour GT-X 管理番号12436

【仕様】

・　年　　　　式　　：　2012年

・測　定　原　理　　：　VSI方式　白色垂直走査干渉方式

　　　　　　　　　　　　PSI方式　位相シフト干渉方式

　　　　　　　　　　　　VXI方式　位相シフト＋垂直走査干渉方式

・　垂直方向分解能　：　(PSI)0.1nmRa、(VXI)0.5nm、(VSI)1nm Ra

・　最大垂直段差　　：　(PSI)100nm、(VXI)150um、 (VSI)10ｍｍ

・　段差測定正確性　：　0.5％以下（8um基準段差測定時／VSI）

・　光　量　調　整　：　自動調整機能あり

・　ス　テ　ー　ジ　：　XYZ自動ステージ、12インチ（300×300ｍｍ）アルマイト製ステージ

・　対　物　レンズ　：　10倍（視野探し用）、50倍（測定）

・　内　部　レンズ　：　1.0倍、2.0倍

・　P　　　　　C　　：　Win7、SP1

・　電　　　　　源　：　AC100～120V、3ピンコネクタ、600W

・　エ　ア　ー　源　：　5kgf／cm2　※接続はワンタッチコネクタ６ｍｍ

・　寸　　　　　法　：　約W900×D850×H1620ｍｍ

・　重　　　　　量　：　約400㎏

【機器ステータス】

・取扱説明書あり。
・PC、制御ソフトは英語表示となっております。
・ステージ吸着用小型真空ポンプが付属しております。
・エアー（圧空）源はお客様にてご準備下さい。
・装置の下部のカバー4面が無いです。
・写真のPCを搭載しているSUS台机は未付属です。
・モニタ、コンソール、マウス、キーボードが付属しております。