| ・倍率 : 15~100000倍 ※観察モード・対象物・設置環境により変わります。 |
| ・加速電圧 : 0.5kV~20kV |
| ・観察像 : 2次電子 |
| ・観察モード : 高真空 |
| ・画像保存形式 : TIFF・JPG |
| ・最大試料サイズ : 直径64mm |
| ・試料室内観察機能 : ビューポート・カラーカメラ |
| ・5軸試料ステージ : X32mm・Y32mm・Z8~30mm・回転360度・傾斜-10~+90度 |
| XY軸電動、コンソールより操作できます。 |
| ・電源 : AC100V±10%、50/60Hz、1500VA以下 |
| ・外形寸法 : 本体(幅395×高さ975×奥行650mm) |
| 真空ポンプ(幅500×高さ365×奥行170mm) |
| ・重量 : 本体約150Kg、真空ポンプ約30Kg |
【EDX】EDAX製 検出器Model:VE7800 10㎜2、液体窒素冷却タイプ |
【付属品】PC、ディスプレイ、コンソール、試料台1個、 |
| ソフト(観察アプリケーション、計測アプリケーション)、 |
| フィラメント2個、取扱説明書 |
| 【機器ステータス】 |
| ※取扱説明書あり ※EDXご使用の際には液体窒素が必要となります。ユーザー様にてご準備下さい。 ※PCが搭載されている白い机、ロータリーポンプが搭載されている平台車は未付属となります。 ※電源投入、真空引き、SEM像確認完了しております。 ※EDXに液体窒素を充填して成分分析確認を問題なく実施できております。 |
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