| ・ 対応可能な測定方法 : 真空吹き付け法、フード法、ボンビング法、スニファー法 |
| ・ 粗引きポンプ速度 : 30L/min 油回転ポンプ |
| ・ メインポンプ速度 : 50L/s ターボ分子ポンプ |
| ・ 吸気口形状 : NW25 |
| ・ 寸法 : 約W440×D370×H500mm |
| ・ 重量 : 約42kg |
| ・ 定量測定範囲 : 10-12~10-3 Pa・m3/sec |
| ・ 電源 : AC100~120V 8A 50/60Hz |
| 【機器ステータス】 |
| ※電源ケーブル、取扱説明書「M-222LD」付属しております。 ※スニファープローブ未付属です。 |
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