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【仕様】 |
| ・カソード :φ2 インチ/2 極対向電極 |
| ・膜厚設定方式 :アナログタイマー |
| ・ガス導入機構 :ニードルバルブ |
| ・チャンバーサイズ:内径φ120mm×D120mm(SUS 製) |
| ・試料交換方法 :前面ドア開閉式 |
| ・排気操作 :手動 |
| ・寸 法 :約W160×D320×H310mm |
| ・重 量 :約10kg |
・電 源 :単相 AC100V 50/60Hz
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| ・付属品:ロータリーポンプ (ULVAC製 G-20DA) |
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