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日立 イオンミリング装置 IM4000 管理番号10887

【商品構成】
IM4000本体部、フラットミリングホルダ、真空ポンプ(アルバック GLD-136B)

【主な仕様】
・真空排気 : TMP+ロータリーポンプ 
・傾斜角度 : 0~90°
・反射角度 : ±60°、±90°
・回転速度 : 1r/m、25r/m
・回転速度 : X0~+5mm
・最大試料サイズ : φ50×25(H)mm
・最大ミリングレート : 約2μm/h
・加速電圧 : 0~6kV
・使用ガス : Ar(アルゴン)ガス(純度99.99%)
・電  源 : AC100V 50/60Hz 1.25kVA
・外寸法  : W1,000×D710×H330㎜
・重 量  : 約50kg(ロータリーポンプ含まず)

【機器ステータス】
取扱説明書あり
断面ミリングホルダは付属しておりません。ご必要な場合別途ご相談ください。

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