| ・本 体 : OLS30-SU |
| ・光 源 : 405nm半導体レーザー |
| ・ 検 出 器 : 円形ピンホール+フォトマルチプライヤー |
| ・Z 駆 動 : レボルバ上下(測定用、移動分解能0.01um、ストローク10mm) |
| 粗動マニュアル(位置合わせ用、微動ハンドル付、ストローク70mm) |
| ・ A F : レーザー反射式 |
| ・ ス テ ー ジ : OLS30-CS100、手動ステージ、ストローク100×100mm |
| ・ レ ボ ル バ : 5穴電動レボルバ |
| ・対物レンズ : UMPlanFL×5 BD、UMPlanFL×10 BD、UMPlanFL×20 BD |
| MplanApo ×50 BD、MplanApo ×100 |
| ・重 量 : 顕微鏡本体 約50㎏、コントローラー9㎏、PC約10㎏、除振台約200㎏ |
| ・寸 法 : 約W660×D880×H1230(除振台込み、PCの作業台は除外) |
| ・電 源 : AC100V 50/60Hz(コントローラー2A、光源装置3A、PC、モニタ) |
○商品構成 : レーザー顕微鏡部、コントロールボックス、PC、 |
| 除振台(特許機器 DLS-68R)、光源装置(LG-PS2) |
| 【機器ステータス】 |
| 取扱説明書あり PC搭載している作業台は未付属となります。 |
顕微鏡 > レーザー顕微鏡 > 工業検査機器(電子・金属) > 寸法・形状を測る > 半導体製造装置 > 品管 品証 関連