【中古品】ヤマト科学プラズマドライクリーナー PDC510 管理番号13420

【年　　式】

　2019年

【主な仕様】

・プラズマ方式　：　DP/RIE 切替方式

・電極構造　　　：　平行平板型

・発信周波数　　：　13.56MHz 水晶発振

・高周波出力　　：　Max500W

・チャンバ内寸　：　W500 × D290 × H200mm

・反応ガス　　　：　O2、Ar

・パージガス　　：　N2、ドライエア

・ステージ寸法　：　W410 ｘ D210mm

・電　　　源　　：　3φ AC200V 15A　50／60Hz

・外　　　寸　　：　約W700 × D700 × H1280mm(突起部含まず)

・重　　　　量　：　約180kg

・付属品　　　：　空冷式ドライ真空ポンプ(ヤマト科学製PK600）

【機器ステータス】

取扱説明書あり

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

E-mail：sales@tanaka21.co.jp

【中古品】ヤマト科学 プラズマドライクリーナー PDC510 管理番号13420