【中古品】サムコ プラズマクリーナー PC-1000 管理番号13164

・年　　　　　式　：　2014年

・反　　応　　室　：　W459×D615×H459mm　（SUS304製）※ビューポート付

・電　　　　　極　：　シェルフ型平行平板、電極間隔可変（25～325mm）

・電　極　棚　　　：　パワード電極　W350×D425mm　3枚

グランド電極　W405×D410mm　2枚

・　高周波電源　　：　13.56MHz　最大1KW

・マッチング回路　：　フルオートマッチング

・架　　　　　台　：　RF電源収納

・真　　空　　計　：　ダイヤフラム真空計（表示0～670Pa）

・　ガス導入系　　：　圧縮空気 0.5～0.7Mpa、反応室ベント用 0.5～0.7Mpa

Ar 0.1Mpa、O2 0.1Mpa

・操　　作　　系　：　タッチパネル、PLCによる自動運転（手動運転可能）、99レシピ保存可能

・外　　　　　寸　：　本体　約W870×D950×H1370mm ※架台含む

・電　　　　　源　：　三相 AC200V 50/60Hz　30A

・重　　　　　量　：　約240㎏（架台、高周波電源含む）

【真空ポンプ】樫山製　ドライポンプ　MU100U-018

到達真空度1.5Pa（N2パージなしの場合）、冷却水量2～3L/min

電源200-220V(50/60Hz)、重量60㎏、約W220×D780×H300mm

【チラー】オリオン製　DCインバータチラー　RKE1500B1-V-G2

冷却能力5.3kW（室温32℃、設定水温20度）、使用最低循環量(50/60Hz)12/21L/min(揚程50m)

電源200-220V(50/60Hz)、重量100㎏、約W550×D900×H970mm

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【機器ステータス】

取扱説明書あり

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