【主な仕様】 |
| 測定範囲 : X軸 100mm |
| Z1軸検出部 60mm(水平状態より±30mm) |
| Z2軸(コラム)移動範囲 300mm |
| X軸傾斜角度 : ±45° |
| 分解能 : X軸 0.05μm、Z1軸検出器0.04μm、Z2軸(コラム)1μm |
| 駆動速度 : X軸 0~80mm/s 及び手動、Z2軸(コラム)0~30mm/s 及び手動 |
| 測定速度 : 0.02~20mm/s(※5mm/s以下を推奨) |
| 真直精度 : 0.8μm/100mm(X軸水平姿勢時) |
| 指示精度(20℃): X軸 ±(0.8+0.01L)μm L=駆動長さ(㎜) |
| 広範囲:1.8μm/100mm 狭範囲:1.05μm/25mm |
| Z1軸検出部 ±(1.4+|2H|/100)μm H=水平位置からの測定高さ(mm) |
| 測定方向 : 引き、押し両方向 |
| 測定面方向 : 上下両方向 |
| 測定力 : 30mN |
| ベース寸法 : W600 ×D450mm |
| 付属品 : 校正キット |
| 小穴アームAB-33(12AAM103) |
| 小穴スタイラス(片角)SPH-43(12AAM106) |
| 十字動テーブル X100×Y50㎜、両締式回転万力台 |
| データ処理ソフト、PC |
| 外観寸法 : 測定本体部 W756×D482×H966mm |
| コントローラ W221×D490×H344mm |
| リモートボックス W248×D102×H62.2mm |
| 質 量 : 本体 約140kg |
| コントローラー 約14kg |
| リモートボックス 約0.9kg |