| 〇年式 |
| 2020年 |
| 〇主な仕様 |
| 測定波長 : 230~800nm |
| 膜厚測定範囲: 1nm~35um※SiO2換算 |
| レンズ : 反射対物レンズ20×(OP2LE-20) |
| 測定径 : φ10μm |
| フォーカス機能 : オートフォーカス |
| 多層膜解析 : 最大50層 |
| 電源 : AC100V 50/60Hz 370VA以下 |
| ステージ : XY自動ステージ ※4、6、8インチ用ウエハホルダ |
| XYZ移動量 : X200X × Y200 ×Z17(mm) |
| 本体寸法 : W555 × D655 × H620(mm) |
| 本体重量 : 約70kg |
| 【機器ステータス】 |
| ・取扱説明書あり ・ノートPC(Win10Pro)、非常停止ボタン、エリアセンサなど付属しております。 ・写真の装置を搭載している白い机は未付属となります。 |
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