【仕様】 |
| ・環境仕様 : 標準 |
| ・定盤寸法 : 1000x700mm |
| ・定盤厚さ : 109mm |
| ・最大搭載荷量 : 150kg |
| ・固有振動数 : 垂直1.2Hz、水平1.0Hz |
| ・除振方式 : 空気ばね |
| ・制振方式 : オリフィスダンピング構造 |
| ・水平維持方式 : メカニカルバルブ自動レベリングセンサ |
| レギュレータ設定圧力0.25MPa(供給空気圧0.3~0.7MPa) |
| ・定盤上面 : 端面25mmから25mmマトリクスM6タップ加工 |
| 着磁性ステンレスSUS430 |
| ・外形寸法 : 約W1000xD700xH750mm |
| ・重量 : 約142kg |