| 年式:2021年式 |
【構成】 ・モデル:DX 国内仕様 PC有り、・駆動部:E-RM-S261A |
| ・粗さ測定用ピックアップ:E-DT-SS01B、・測定子:DM43801 |
| ・測定台:E-CL-S162E、・十字動・回転調整台:E-AT-S01D(オプション品) |
| ・傾斜調整台:E-AT-S02A(オプション品) |
【仕様】 ・測定範囲 X軸(駆動部) 100mm 、Z軸(コラム) 250mm
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| 駆動部(X軸) ・センシング方式:リニアスケール |
| ・ 真直度精度:(0.05+1.0L/1000)μm (L:測定長さmm) |
| ・分解能: 0.016 μm |
| ・速度:移動時:0.03~60mm/s、測定時:0.03~20mm/s |
| 測定台 コラム ・速度 移動時:max 10mm/s |
| ベース ・許容最大積載量:82kg |
| ・材質 はんれい岩 |
| ・寸法 W600×D450mm |
| 検出器(粗さ測定用ピックアップ E-DT-SS01B) |
| ・センシング方式:差動インダクタンス |
| ・測定レンジ:6.4~1000μm ・測定分解能:0.1~20nm |
| ・機能:下向き上向き測定/上側リミット検出安全機構 |
| 測定子(DM43801) ・測定力:0.75mN |
・触針材質:ダイヤモンド ・触針形状:先端R2μm/60°円錐
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| ・動作温度:10~30℃、動作湿度:40~80%(結露なきこと) |
| ・ソフトウェア:ACCTee(win10対応) |
| ・ユーティリティ |
| 空気源(除振台):供給圧力 0.45~0.7MPa |
| 電源: 単相 AC100V 50/60Hz |
| ・外寸:約W960×D765×1500mm |