・非接触渦電流プローブ移動による自動システム |
・測定対象 : FPD基板上のITO膜、IZO膜、メタル膜など、太陽電池 |
(ガラス上の薄膜など) ・測定方式 : 渦電流方式 ・プローブ部 : 型式 NC-60F ・測定範囲 : シート抵抗率 0.5Ω/sq~20Ω/sq ・ステージ部 : 型式RG-100N ・ステージ範囲: 350×350mm ・ソフトウェア: 2-D/3-Dマッピングソフトウェア ・制御部 : OS Windows7 ・電 源 : AC100V 50/60Hz |
・付属品 : 真空ポンプ |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし 写真のモニターは違う物になります。詳細はお問い合わせ下さい。 |
工業検査機器(電子・金属) > その他検査機器 > 半導体製造装置 > ウエハ製造(前工程) > 品管 品証 関連