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ニコン超高分解能非接触三次元表面形状計測システム BW-A505（MM-800LU）管理番号30011

〇主な仕様

〇年式　：　2014年

・ピエゾ駆動方式　　　　：　　レボルバ駆動

・ピエゾ走査レンジ　　　：　　100μm※測定は約90μｍ

・XYZ軸駆動　　　　　　：　　各手動※ピエゾ駆動部は電動
・計測光学系　　　　　　：　　白色二光束干渉計

・二光束干渉対物レンズ　：　　10、20、50、100×
・ﾏｲｹﾙｿﾝ型干渉レンズ　　：　　2.5、5×※対物レンズ用単ホルダ付属（1本装着用）

・視野確認用対物レンズ　：　　5×

・実効高さ分解能　　　　：　　8nm（8μm段差測定時）

〇主な測定項目

・粗さ測定　　　　　　　：　　2次元粗さ（Ra、Rq、Rz等）

　　　　　　　　　　　　　　　3次元粗さ（Sa、Sq、Sz等）

・プロファイル表示　　　：　　カーソルによる2点間の高さ、距離、角度等

・レポート表示　　　　　：　　処理画像および粗さ指標値のEXCEL出力

〇顕微鏡部

・本体型式　　　　　　　：　　ニコン大型測定顕微鏡 MM-800／LU

・測定可能軸　　　　　　：　　Ｘ、Ｙ、Ｚ軸※Z軸フォーカスエイド未搭載

・搭載ステージ　　　　　：　　8×6B（測定ストローク200×150mm）

〇除振台

型　　　式　　　　　　　：　　HERZ アクティブ微小振動制御システム h-L-TS-300

取扱説明書付属

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過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽・恒温恒湿器: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
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