アストロデザイン解析用マニュアルプローバー SE-6003(チラー付属) 管理番号08825

○主な仕様

・ステージ移動量　　　　　　　　：　X200mm、Y200mm

・サブステージ移動量　　　　　　：　X13mm、Y13mm

・チャックサイズ　　　　　　　　：　標準チャック　～8インチ

　　　　　　　　　　　　　　　　　　低温チャック　～8インチ

・ウェハ保持方式　　　　　　　　：　真空吸着方式

・設定温度　　　　　　　　　　　：　-40℃～+125℃(冷却媒体：水。エタノール混合溶液)

・顕微鏡サポートタワーチルド角度：　水平に対して約10度

・プローバー外寸法　　　　　　　：　約W440×D700×H550mm

・重　　量　　　　　　　　　　　：　約65㎏（シールドボックス防振台込み約250㎏）

・電　　源　　　　　　　　　　　：　AC100V、50/60Hz

【商品構成】

・プローバー本体

・標準チャック及び低温チャック　各1個

・温度コントローラー　　　　　　：　AT-6602

・実体顕微鏡　　　　　　　　　　：　SZ40（オリンパス製）対物レンズ110AL1.5×、接眼レンズ×30

・顕微鏡用照明電源　　　　　　　：　TL3（オリンパス製）

・冷却水循環装置　　　　　　　　：　CA-2500(東京理化器械製)

・冷却水送水ポンプ　　　　　　　：　HPP-1100(東京理化器械製)

・シールドボックス（外寸法：約W800×D900×H1570開放時H2150㎜）

※コンプレッサー、真空ポンプは付属しておりません。

※マイクロポジショナーは別途費用にて付属可能です。ご相談ください

・取扱説明書あり
・チラー及びコントローラーの温度表示で高温側は約120度まで、低温側はは約5度まで動作確認済みです。

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

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