FUJI 大気圧プラズマユニット FPEシリーズ管理番号10161

○主な仕様

○年　　式　　：　2015年製

・商品構成　　：　大気圧プラズマユニット（Type FPE）、プラズマ照射ロボット

　　　　　　　　　※照射ロボット部は前オーナー仕様になります。

・先端ノズル　：　内径Φ4.5ｍｍ

・プロセスガス：　N2　約60L／min

　　　　　　　　　Air　約30L／min

・電　　源　　：　大気圧プラズマユニット　1φ　AC200V 7.75A（60Hz）

　　　　　　　　　照射ロボット　3φ　AC200V

・各部寸法　　：　ヘッド部　L200×W140×H70（ｍｍ）

　　　　　　　　　コントローラー部　W470×D410×H1220（ｍｍ）

　　　　　　　　　照射ロボット部　W820×D1,500×H1,830（ｍｍ）

※取扱説明書無し
※プラズマ照射ロボットの状況
マニュアル操作可能。プログラム動作は不可。（パスワード不明）

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽・恒温恒湿器: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

E-mail：sales@tanaka21.co.jp