| ・対象基板寸法: W250×L330mm以下、高さ 保持面上下共15mm以下 |
| ・加熱方式 : 上面 熱風・遠赤外線輻射併用 |
| 下面 遠赤外線輻射 |
| ・冷却方式 : 外部ガス(N2またはAir)導入による(排気ダンパ連動) |
| ・外部ガス : 0.3~0.5MPa、100㍑/min(MAX) |
| ・測定点数 : 6ポイント |
| ・測定温度 : 常温~330℃ |
| ・装置寸法 : W900×D900×H523mm |
| ・重 量 : 約110kg |
| ・電 源 : AC 3φ200V 50/60Hz 18KVA |
| ・付属品 : ビデオ観察システム VDM-1 |
| (光学倍率 0.75倍~4.5倍) 観察用照明(光源+ファイバー) |
| ガス混合器 NAM-100 |
| 酸素濃度計 OAS-1 |
| PC (win XP) |
| ※電源ケーブル、排気ダクト、排気用ブロワーなどは未付属です。 |
| ※写真掲載のテーブル(白い作業台)は付属されていません。 |
【機器ステータス】 |
| 取扱説明書あり |