・対象基板寸法 : W250×L330mm以下、高さ 保持面上下共15mm以下 |
・加熱方式 : 上面 熱風・遠赤外線輻射併用 |
下面 遠赤外線輻射 |
・冷却方式 : 外部ガス(N2またはAir)導入による(排気ダンパ連動) |
・外部ガス : 0.3~0.5MPa、100㍑/min(MAX) |
・測定点数 : 6ポイント |
・測定温度 : 常温~330℃ |
・装置寸法 : W830×D557×H523mm |
・重量 : 約110kg |
・電源 : AC 3φ200V 50/60Hz 18KVA |
・付属品 : PC(WinXP)、制御専用ソフトRDT-250S、PC-本体接続ケーブル ※排気ダクト、ブロワ、酸素濃度計などは未付属です。 |
【機器ステータス】 |
取扱説明書あり |