日本マイクロニクスマニュアルプローバー MP-10 管理番号10723

￥５００，０００．－（送料／消費税別途）

○主な仕様

・チャックサイズ　　：　8インチ（φ200mm）

・チャックステージ　：　エアーベアリング機構

・ステージ移動量　　：　約X220mm、Y270mm

・サブステージ移動量：　約X10mm、Y10mm

・ウェハ保持方式　　：　真空吸着方式

・Ｚ移動量　　　　　：　0~0.3～3.5mm（3段階）、＋約37mm

・θ調整　　　　　　：　約±25°（チャックの配線、配管により変動）

・外　　寸　　　　　：　約W560×D770×H620mm　(顕微鏡含む)

・重　　量　　　　　：　MP-10 本体約80㎏

〇ユーティリティー　
・電　　源　　　　　：　AC100V 50/60Hz 3A、D種接地
・圧縮空気源　　　　：　0.1Mpa以上（接続口Φ6㎜ワンタッチ）
・真空源　　　　　　：　-532hPa以下（接続口Φ6㎜ワンタッチ）

〇付属顕微鏡　　　　：　FS（ミツトヨ製）

・接眼レンズ　　　　：　WF 10X / 24

・対物レンズ　　　　：　M Plan APO5、10、SL20、SL50
・照明用ファイバーケーブル（照明装置未付属）

※取扱説明書、顕微鏡用照明、小型真空ポンプ、コンプレッサーなど未付属です。

※別途費用にて小型真空ポンプ、顕微鏡用照明、除振台、シールドボックス、マニュピレータなどは
　付属可能です。ご相談下さい。

取扱説明書なし（MP-10A取扱説明書は付属あり）

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

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