¥380,000.ー(送料/消費税別途)○主な仕様 | ||
・ステージ移動量 : X200mm、Y200mm | ||
・サブステージ移動量 : X13mm、Y13mm | ||
・試料台ローテーション : 粗動180度、微動10度 | ||
・プローブとキャリアの移動量 : 0~25mm | ||
・プローブとキャリアUP/DOWNストローク: コンタクトからセパレード400μm | ||
・チャックサイズ : ~8インチ(φ200mm) | ||
・ウェハ保持方式 : 真空吸着方式 | ||
・プローバー外寸法 : 約W450×D550×H600mm | ||
・重 量 : 約60㎏ | ||
・電 源 : AC100V、50/60Hz | ||
【商品構成】 | ||
・プローバー本体 | ||
・実体顕微鏡:SZ61(オリンパス製)対物レンズWHSZ20×-H、ズームツマミ0.67~4.5× | ||
・顕微鏡用照明電源:KTX-100R(Kenko製)、リング照明付き | ||
・顕微鏡XYモーション機構 | ||
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※仕様違いで在庫多数ございます。 |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし(別途SE-6003の取説は付属可能です)。 |