ミツトヨ表面粗さ測定機サーフテスト SV-3100W8 管理番号10939

【仕様】

・Ｃｏｄｅ　　　　：　178-478-1

・年　　式　　　　：　2015年式

・傾斜機構　　　　：　あり（X軸、傾斜角度±45度）

・測定範囲／分解能：　X軸　200㎜/0.05μm

　　　　　　　　　　　Z1軸（検出部）　800μm/0.01μm、80μm/0.001μm、8μm/0.0001μm

・駆動部分　　　　：　X軸　真直精度　（0.05+0.001L）μm　L:駆動長さ（mm）

　　　　　　　　　　　X軸　測定速度　0.02～5ｍｍ/s

　　　　　　　　　　　X軸　駆動速度　0～8ｍｍ/s及び手動

　　　　　　　　　　　Z2軸(コラム)　移動範囲500mm、駆動速度0～20ｍｍ/s及び手動、分解能1um

・検出器　　　　　：　178-396-2　測定力0.75mN（?97 ISO、?01JIS準拠の検出器）

・スタイラス　　　：　標準／丸棒測定用（12AAC731-12AAB355）形状60°、先端半径2μm）

・測定パラメータ　：　Ra,Rq,Rz,Rc,Ry,RzDINなど

・評価曲線　　　　：　断面曲線、粗さ曲線、うねり曲線、ろ波うねり曲線、

　　　　　　　　　　　転がり円うねり曲線、エンベローグ残差曲線など

・付属品　　　　　：　傾斜装置、PC(Win7 SP1)、CD類、リモートボックス、

　　　　　　　　　　　標準片、スタイラス3本(消耗度合不明品)、デスク型除振台(特許機器)

・データ処理部　　：　FORMTRACEPAK

・寸　　法　　　　：　本体W1166×D482×H1176mm（ベースサイズ：1000×450ｍｍ）

　　　　　　　　　　　除振台W1410×D770×H710ｍｍ（除震部W1050×D710ｍｍ）

・重　　量　　　　：　本体部約220㎏、除振台約300kg、コントローラ約14㎏、リモートボックス約0.9kg

・電　　源　　　　：　100V　50/60Hz（本体、PC、モニタ用　3か所）
・圧空源（除振台）：　0.4Mpa

※弊社にて簡易的な動作確認（電源投入、標準サンプルを使用しての簡易測定）済みです。

※除振台など大きく、重量物ですので、受け取り時の対応を別途ご相談下さい。
※精密バイスや3軸調整テーブルなどは未付属となります。

取扱説明書あり

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

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