| ・UVランプ : 特殊平面状水銀ランプ | 
| ・波 長 : 254.7nm | 
| ・適応ウエハー : ~6インチ (付属アダプタは6インチフレーム用、その他ピン穴多数あり) | 
| ※DISCO6インチダイシングフレーム取り付け確認済み | 
| ・アダプタ穴径 : 約Φ160mm | 
| ・ガラス面 : 約Φ240mm(アダプタ取り外し時) | 
| ・安全機構 : インターロック付き扉 | 
| ・操 作 : 設定時間入力とスタートスイッチ | 
| ・排気ダクト穴径: φ75mm | 
| ・ユーティリティ: ドライエア(シャッター用) | 
| 窒素ガス(硬化パージ用) | 
| 電源 AC100V 50Hz | 
| ・外 寸 : 約W480×D650×H410mm | 
| ・重  量   : 約50kg | 
| 【機器ステータス】 | 
| ・取扱説明書なし ・6インチフレーム用アダプタ(ピン穴多数あり)付属しております。 ・ガラス左上端に欠け多少あり |