UVランプ : 特殊平面状水銀ランプ |
波 長 : 254.7nm |
適応ウエハー : ~6インチ (付属アダプタは6インチフレーム用、その他ピン穴多数あり) |
※DISCO6インチダイシングフレーム取り付け確認済み |
アダプタ穴径 : 約Φ160mm |
ガ ラ ス 面 : 約Φ240mm(アダプタ取り外し時) |
安 全 機 構 : インターロック付き扉 |
操 作 : 設定時間入力とスタートスイッチ |
排気ダクト穴径 : φ75mm |
ユーティリティ : ドライエア(シャッター用) |
窒素ガス(硬化パージ用) |
電源 AC100V 50Hz |
外 寸 : 約W480×D650×H410mm |
重 量 : 約50kg |
【機器ステータス】 |
・取扱説明書なし ・6インチフレーム用アダプタ(ピン穴多数あり)付属しております。 ・ガラス左上端に欠け多少あり |