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ULTRON SYSTEM UV照射機 UH102 管理番号10950

¥160,000.-(送料/消費税別途)

【仕様】

 UVランプ     : 特殊平面状水銀ランプ
波     長 : 254.7nm
適応ウエハー  : ~6インチ (付属アダプタは6インチフレーム用、その他ピン穴多数あり)
          ※DISCO6インチダイシングフレーム取り付け確認済み
アダプタ穴径  : 約Φ160mm
ガ ラ ス 面 : 約Φ240mm(アダプタ取り外し時)
安 全 機 構 : インターロック付き扉
操     作 : 設定時間入力とスタートスイッチ
排気ダクト穴径 : φ75mm
ユーティリティ : ドライエア(シャッター用)
          窒素ガス(硬化パージ用)
          電源 AC100V 50Hz
外     寸 : 約W480×D650×H410mm
重     量 : 約50kg


【機器ステータス】

・取扱説明書なし
・6インチフレーム用アダプタ(ピン穴多数あり)付属しております。
・ガラス左上端に欠け多少あり

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