日立走査電子顕微鏡用冷水循環装置 W-5030 管理番号10498

￥１００，０００．－（送料／消費税別途）

【仕様】

・使用環境条件　　：　室温５℃～３０℃、湿度70％以下

・冷却水設定温度　：　20℃（温度安定度±2.0℃）

・冷却水吐出圧力　：　95／127kPa（50／60Hz）（最大）

・冷却水流量　　　：　27／31ｄm3／min（最大）（接続装置により変化します）

・有効水槽容量　　：　約16ｄm3（液面計付き）

・冷　却　能　力　：　0.85／0.95kW（液温20℃、室温30℃、±5％）（50／60Hz）　　　

・電　　　　源　　：　AC100V　1.5kVA　50／60Hz

・外　　　　寸　　：　W400×D450×H660mm（突起物を除く）

・質　　　　量　　：　約50kg

取扱説明書あり
※設定温度固定の為、日立SEM専用チラーとしてご検討ください。

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽・恒温恒湿器: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
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