【仕様】 |
・ステージ移動量 : 約X130mm、Y190mm |
・試料台ローテーション : 360度 |
・プローブとキャリアの移動量: 約13mm |
・チャックサイズ : 5インチ(φ130mm) |
・ウェハ保持方式 : 真空吸着方式 |
・プローバー外寸法 : 約W400×D450×H500mm |
・重 量 : 約40㎏ |
【商品構成】 |
・プローバー本体 |
・実体顕微鏡 : SZ6045CHI(オリンパス製/11241)、接眼レンズGSWH 20×、ズーム1~6.3× |
・顕微鏡用リング照明 |
・顕微鏡取付けアーム |
・除振台 : TAP-56(特許機器製) 外寸・重量 : 約W500×D600×H50mm・約30Kg |
【ユーティリティ】 |
・真空(チャック吸着用) |
・電 源 : AC100V (リング照明用) |
・圧縮空気 : (除振台用) |
※照 明 :オリンパス/真空ポンプ:アルバックDAP-12S付属。 |
※仕様違いで在庫多数ございます。 |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし |
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