-
¥380,000.-(送料/消費税別途)
【仕様】 |
・ステージ移動量 : 約X130mm、Y190mm |
・試料台ローテーション : 360度 |
・プローブとキャリアの移動量 : 約13mm |
・チャックサイズ : 5インチ(φ130mm) |
・ウェハ保持方式 : 真空吸着方式 |
・プローバー外寸法 : 約W400×D450×H500mm |
・重量 : 約40㎏ |
・ |
【商品構成】 |
・プローバー本体 |
・実体顕微鏡:SZ60(オリンパス製)接眼レンズGSWH 20×、ズームツマミ1~6.3× |
・顕微鏡用リング照明 |
・顕微鏡取付けアーム |
・除振台:TAP-56(特許機器製)外寸・重量:約W500×D600×H50mm・約30Kg |
・ |
【ユーティリティ】 |
・真空(チャック吸着用) |
・電源:AC100V (リング照明用) |
・圧縮空気:(除振台用) |
・ |
※照明:オリンパス/真空ポンプ:アルバックDAP-12S付属。 |
※仕様違いで在庫多数ございます。 |
【工業検査機器(電子・金属)】 【その他検査機器】 【半導体製造装置】 【テスティング装置】 【品管 品証 関連】 【電子部品製造装置】 【その他製造装置】
工業検査機器(電子・金属)
>
その他検査機器
>
半導体製造装置
>
テスティング装置
>
品管 品証 関連
>
電子部品製造装置
>
その他製造装置