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オムニフィジックス コンパクト・マニュアルプローバ SE-1000 管理番号10613

¥400,000.-(送料/消費税別途)

【仕様】

・ステージ移動量      : 約X130mm、Y190mm
・試料台ローテーション   : 360度
・プローブとキャリアの移動量: 約13mm
・チャックサイズ      : 5インチ(φ130mm)
・ウェハ保持方式      : 真空吸着方式
・プローバー外寸法     : 約W400×D450×H500mm
・重  量         : 約40㎏

【商品構成】
・プローバー本体
・実体顕微鏡        : SZ6045CHI(オリンパス製/11241)、接眼レンズGSWH 20×、ズーム1~6.3×
・顕微鏡用同軸落射照明
・顕微鏡取付けアーム
・真空ポンプ アルバックDAP-12S

【ユーティリティ】
・真空(チャック吸着用)
・電  源         : AC100V 2つ  (照明用、真空ポンプ用)


【機器ステータス】

取扱説明書なし

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