【仕様】 |
・ステージ移動量 : 約X130mm、Y190mm |
・試料台ローテーション : 360度 |
・プローブとキャリアの移動量: 約13mm |
・チャックサイズ : 5インチ(φ130mm) |
・ウェハ保持方式 : 真空吸着方式 |
・プローバー外寸法 : 約W400×D450×H500mm |
・重 量 : 約40㎏ |
【商品構成】 |
・プローバー本体 |
・実体顕微鏡 : SZ6045CHI(オリンパス製/11241)、接眼レンズGSWH 20×、ズーム1~6.3× |
・顕微鏡用同軸落射照明 |
・顕微鏡取付けアーム |
・真空ポンプ アルバックDAP-12S |
【ユーティリティ】 |
・真空(チャック吸着用) |
・電 源 : AC100V 2つ (照明用、真空ポンプ用) |
【機器ステータス】 |
取扱説明書なし |
工業検査機器(電子・金属) > その他検査機器 > 半導体製造装置 > テスティング装置 > 品管 品証 関連 > 電子部品製造装置 > その他製造装置