ミツトヨ輪郭形状測定機 CV-3200S4 管理番号11523

【主な仕様】

測定範囲　：　X軸　100mm Z1軸検出部　水平状態より±30mm

Z2軸（コラム）移動範囲　：　300mm

X軸傾斜角度　：　±45°

分解能　　：　X軸　0.05μm、Z1軸検出器0.04μm、Z2軸（コラム）1μm

駆動速度　：　X軸　0～80mm/s 及び手動、Z2軸（コラム）0～30mm/s 及び手動

測定速度　：　0.02～5mm/s

真直精度　：　0.8μm/100mm（X軸水平姿勢時）

指示精度（20°）　：　X軸　±（0.8＋0.01L)μm L=駆動長さ（㎜）

　　　　　　　　　　広範囲：1.8μm/100mm 　狭範囲：1.05μm/25mm

　　　　　　　　　　 Z1軸検出器 ±（1.6＋|2H|/100)μm　H=水平位置からの測定高さ（mm)

測定方向　：　引き、押し両方向

測定面方向：　上下両方向

測定力　　：　30mN
ベース寸法：　W600 ×D450（ｍｍ）

付属品　　：　小穴アーム　AB-33【12AAM103】

　　　　　　　小穴スタイラス　SPH-42（H20ｍｍ）【12AAM105】

　　　　　　　十字動テーブル／X100×Y50㎜、両締式回転万力台

　　　　　　　マグネチックホルダー（KM-12W KANETEC製）

外観寸法　：　本体　W756×D482×H966mm　

　　　　　　　コントローラ　W221×D344×H490mm

質　量　　：　本体　140kg

取扱説明書あり

過去の履歴

顕微鏡: 実体顕微鏡; 金属顕微鏡半導体検査顕微鏡; 測定顕微鏡投影機; 電子顕微鏡; レーザー顕微鏡; デジタルマイクロスコープ; 関連機器
恒温槽・恒温恒湿器: 環境試験機器; 恒温器オーブン; その他恒温槽; チラー
工業検査機器（電子・金属）: 寸法・形状を測る; 膜厚を測る; 強度を測る; 成分を調べる; 非破壊検査; 色を測る; その他検査機器
半導体製造装置: ウエハ製造（前工程）; ダイサー関連; ボンダー関連; BGA・CSP製造装置; テスティング装置; ディスペンサ; 品管品証関連; その他装置
電子部品製造装置: FPC製造関連; SMT実装関連; FPD製造関連; リードフレーム製造関連; SMD製造関連; その他製造装置
真空機器: 真空ポンプ; 成膜装置; その他真空機器
クリーンルーム機器: クリーンベンチ・ブース; パーティクルカウンター; その他機器
電子工業分野その他: レーザー関連機器; 電子計測器; UV関連機器; 光通信機器
理化学機器（バイオ生物）: 生物顕微鏡; 試験分析機器; ラボ機材; バイオ DNA 機器; 保冷庫フリーザー; インキュベーター; その他機器理化学機器
プレス機械・工作機械: プレス機械; 工作機械; その他機械
その他分類

所在地　/　連絡先

〒802-0001
福岡県北九州市小倉北区浅野3丁目8番1号　AIMビル6F
Tel : 093-522-1711　Fax : 093-522-1712

E-mail：sales@tanaka21.co.jp